電感耦合等離子體（ICP）是一種通過時變磁場電磁感應產生電流作為能源的等離子體源。主要包括等離子炬管、高頻發生器（產生高頻電流）、感應線圈、供氣系統和霧化系統。火炬管由三層同心石英玻璃管組成。切向引入外管的氬氣是等離子工作氣體或冷卻氣體，引入中管的氬氣是輔助氣體。內管中的氬氣是載氣，樣品氣溶膠被引入炬管。

　　

　　電感耦合等離子體有四種主要用途：

　　

　　1、等離子體光譜診斷：通過分析ICPSource的光譜分析等離子體的原子成分。參見電感耦合等離子體原子發射光譜法（ICP-AES）；

　　

　　2、電感耦合等離子體質譜：作為質譜的離子源，進行成分分析（ICP-MS）；

　　

　　3、反應離子刻蝕：ICPSource產生低溫等離子體，對材料表面進行刻蝕，改變材料的物理化學性質（ICP-RIE）；

　　

　　4、氣相沉積薄膜技術（RFICP）。

　　

　　電感耦合等離子體原子發射光譜法是利用激發的氣態原子或離子發射的特征光譜，確定被測物質中元素組成和含量的方法。

　　

　　原子發射光譜法一般步驟：

　　

　　1、待測物質在激發光源中蒸發、解離、電離并被激發產生光輻射；

　　

　　2、產生的復合光通量色散太輕，無法形成光譜；

　　

　　3、檢測光譜線的波長和強度進行分析。